近日，记者从怀柔仪器和传感器硬科技孵化器获悉，中科微世（北京）科技发展有限公司通过自主研发，成功攻克离子束设备国产化技术难关，为高精度核心敏感器件制造这一“卡脖子”领域提供了自主可控的解决方案。
在高端仪器、传感器制造领域，核心敏感器件精度、灵敏度、稳定性不足的问题，长期制约着产业发展。“这类问题常被理解为半导体工艺所致，实则部分痛点是半导体工艺难以解决，而这恰恰是离子束技术的突破方向。”中科微世总经理江涛介绍，企业高端制造中的核心器件难题，亟需更精准的技术支撑。
离子束刻蚀、镀膜工艺被喻为精密制造的“高精度手术刀”。依托该技术，中科微世研发的核心敏感器件具备“高精度、高稳定、高灵敏”特性，覆盖非硅微纳芯片、薄膜新材料等领域，可广泛应用于航空航天、轨道交通、电力电网、石化、新能源、量子超导、医疗、防伪、AR智能眼镜、MEMS等多场景。“例如，离子束设备能提升AR智能眼镜镜片的高透光率、扩大视场角，避免彩虹纹现象，这正是其光学模组未来发展的重要趋势。”江涛举例道。
此前，因缺乏国产设备，国内企业生产此类精密核心敏感器件时一度陷入“卡脖子”困境。“设备禁限曾对我们的非硅微纳产业发展造成极大阻滞。目前，我国在离子束、高端装备为代表的非硅微纳加工制造体系上，尚未完全实现规模化、产业化，产业生态急待重构完善推广应用。”江涛坦言。
突破这一瓶颈，中科微世凭借深厚的技术积淀——其技术团队传承自航天系统与中科院体系，拥有40余年离子束刻蚀设备及溅射沉积镀膜设备的研发制造经验，已实现离子束刻蚀、离子束溅射沉积镀膜设备及原子级制造开发与应用。其中，离子束溅射沉积镀膜设备可用于功能性高端薄膜材料、高端传感器核心敏感器件制造；离子束刻蚀设备则适用于终极抛光清洗、微纳米级图形结构加工等场景。此外，企业还提供离子束设备制备薄膜材料、维护、工艺技术服务及终端成品加工等全链条支持。
“从设备到工艺端，再到离子束设备核心部件，我们均自主研发。”江涛强调，团队会根据行业头部企业需求实现工艺参数反求，通过设备改造提升性能，未来计划嵌入AI技术推动智能制造，凭借核心部件自主研发实现非标生产。“高端设备是科技基础，以此解决行业痛点，推动国产化替代与产品迭代、产业升级。”
作为怀柔综合性国家科学中心入驻企业，中科微世已纳入怀柔科学城硬科技成果转化技术服务中心体系，为怀柔仪器公司建设的智能感知共性技术平台提供微纳加工关键工艺支持。企业通过“离子束设备+工艺包”的综合服务模式，形成“代工+代研”双轮驱动能力，正凭借工艺创新研发与科技成果转化，填补国产化空白、推动产业升级，助力国内非硅微纳加工产业链整体提升，为新质生产力培育提供关键装备支撑。
来源：北京怀柔微信公众号
【来源：京报网】
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